半导体工业用超纯水系统

EDI (electrodeionization)技术将电渗析技术与离子交换技术相结合，通过阴离子和阳离子交换膜对阴离子和阳离子的选择性渗透以及离子交换树脂对离子的交换，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移。为了完成对水的深度淡化，水质可以达到15MΩ.cm以上。在脱盐过程中，水电离产生的氢离子和氢氧化物离子使离子交换树脂再生，无需酸碱化学再生即可连续生产超纯水。

反渗透是通过具有足够压力的反渗透膜(或半渗透膜)将溶液中的溶剂(通常是水)分离，因此称为反渗透。反渗透作为一种高效的海水淡化技术，可以去除原水中的无机离子、细菌、病毒、有机物、胶体等杂质，获得高品质的纯净水。

根据各种物料的不同渗透压，可采用反渗透法来达到分离、提取、纯化和浓缩的目的。

工艺流程：

原水箱-原水泵-多介质过滤器-活性炭过滤器-精密过滤器-高压泵-一级反渗透-中间水箱-高压泵-二级反渗透-RO水箱-泵-UV-微孔过滤器-EDI装置-纯水箱-纯水泵-TOC去除装置-抛光混合床-微孔过滤器

应用范围：太阳能光伏半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路

          超纯材料和超纯化学试剂

          LCD、EL、PDP、TET、显像管

          光导纤维、光盘

          实验室和中试车间

          汽车、家电表面抛光处理

          其他高科技精微产品