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本系列真空泵适用于≤15L/S小抽速工况，极限真空为5Pa 的真空获 得环境，它广泛应用于医疗仪器、电子、半导体、医药、真空包装、太阳 能、真空干燥过滤、科研、分析仪表、气体脱气、泄漏检测、溅射装置、 回收装置等。 真空泵，采用卧式直连结构，气体行程短而且简单，利于气体排出。 自冷式真空泵采用风冷形式，不用单独给真空泵增加冷却水系统，结构简 单重量轻，移动方便。泵体与电机采用直连形式，设备震动小噪音低适用于各种工况。
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