SemiChem Advanced Process Monitor （SemiChem 在线浓度监测仪）是集自动取样、分析和报告关键过程的定量化学浓度的化学监测系统。全面的在线化学监测可实时校正浆料成分，从而稳定控制工艺生产条件。该系统可提供分类化学浓度数据。当立即显现时，可以快速纠正可能对产品质量产生负面影响的变化，有助于满足更高产品产量的要求。
| 分析方法 | 电位测定法，标准加成法，光度测定法 |
| 电位测量的准确性* | 显示值的±0.2% |
| 标准添加的准确性* | 显示值的±2.0% |
| 电位测量精度* | ±0.2%相对误差 |
| 标准添加精度* | ±2.0%相对误差 |
| 测量时间 | >5分钟/次（取决于应用程序） |
| 校准间隔 | 启动时** |
| 样品消耗 | <5 mL/次 |
| 进样量 | 0.05-5 mL（取决于应用） |
| 进样温度 | 最高93°C（200°F） |
| 耗水量 | <1000 mL/分析 |
| 样品进样/排样 | <207 kPa（30 psi），0.5 L/min |
| 1/4" OD扩口接头，1" FPT安全壳联轴器 | |
| 去离子水 | 138至276 kPa（20至40 psi） |
| 2.0升/分钟 | |
| 外径 1/4" 扩口接头 | |
| CDA | 414-552 kPa（60-80 psi） |
| 1/4" 外径快速接头 | |
| 排水 | 工艺：3/4“NPT重力排水管机柜：1/2“NPT重力 |
| 电源 | 110/220 VAC，50/60 Hz，1/0.5 A现场可切换 |
| 废气 | 外径1 7/8" @ 17 CFM |
产品优势：
Entegris在设计和生产用于半导体制造工艺中的化学机械平坦化（CMP）浆料和配方清洁化学品的高精度分析仪器的有丰富的经验。我们的技术旨在确保复杂混合化学品的精确一致性，并在 CMP和配方清洁工艺中实现高产量。
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